真空排気装置カタログ

後段の真空ポンプ（ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ）と組合せることで、小さな動力で排気速度を大幅に増やし、到達圧力を1～2桁低くできます。

●排気効率が非常に高く、省エネで排気速度と到達圧力の向上ができます。

●水封式真空ポンプにも対応した設計で高背圧にも耐えられるため、非常に堅牢です。

●排気口の向きを下側／横側から選択できます。
　
●真空ポンプの能力が落ちる到達圧力付近の排気速度をカバーできます。

●真空スイッチ（圧力スイッチ）も付属できます。 （詳細を見る）

過酷な現場を含め、幅広い用途で生き残ってきたロングセラー商品です。高い耐久性により多くのユーザーから信頼を得ております。

◆過酷な現場での使用実績が豊富で耐久性に優れる油回転真空ポンプです。

◆安定して低い圧力が得られます。

◆シンプルな構造で故障が少ないです。

◆標準装備のガスバラスト弁により、微量の水蒸気でしたら排気が出来ます。 （詳細を見る）

豊富な販売実績を持つスタンダードモデルです。他方式ではトラブルの基となる様々なガスを水でシールすることにより安定して排気します。

◆水封式真空ポンプは水でシールすることで凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能にします。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。

◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス等の耐食性に優れる材質の選定も可能です。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。

◆軸封部はグランドパッキンが標準仕様ですが、メカニカルシールも選択できます。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、封水を直接流出させずに循環させる「封液循環型」水封式真空ポンプも製造しています。 （詳細を見る）

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。

●ZEROEDGEスクリュー
排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。

●メンテナンス性の追求【省コスト】
設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ、ランニングコストを最小限に抑えます。

●1Pa以下の優れた到達圧力が得られます。

●パーティクルがドライポンプ内部に堆積しにくい構造です。一般的なドライポンプに比べ、粉体・生成物・液体の排出性に優れます。

●ポンプ回転速度が低速なため、軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●オプション品、多彩なアクセサリーを取り揃え、ご用途に応じた好適なドライポンプをご提案します。 （詳細を見る）

豊富な実績を持つSSTシリーズの堅牢性をそのままに、省エネ運転が可能で、保護機能・リモート機能などを有したスマートドライポンプです。

●独自設計の面シールスクリューロータにより、ロータ摩耗による排気速度低下の少ないドライポンプを実現しました。

●排気速度重視の「パワーモード」、省エネの「エコノミーモード」の切り替えが可能です。

●非腐食性ガスの場合、冷却用ガス・シールガス・パージガスが不要です。

●ポンプコントローラを搭載しており手動運転、遠隔操作が可能です。

●冷却水不足、過負荷、異常発熱などのトラブルを検知します。アラームや自動運転停止機能によってポンプへのダメージを防ぎます。

●ポンプ回転速度が低速なため、軸シール・軸受・歯車等が長寿命です。

●キャスター付きです。 （詳細を見る）

『SD、SDBシリーズ』は、冶金・素材関係で非常に多くの実績を誇る
油拡散ポンプです。

長年の使用に耐える堅牢な構造で高速排気が大きな特長です。

薄膜形成装置・冶金関係・化学関係など多くの用途で信頼を得ています。
また、水冷バッフルや液体窒素トラップなど周辺部品も充実しており安定した
高真空性能を実現します。

【特長】
■排気速度が大きい
■油蒸気の逆流が少ない
■ヒーターの寿命が長い（アルミ鋳込みヒーター使用）
■高い許容背圧が得られる（サイドエゼクタ形）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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業界でトップクラスの真空ポンプの組合せユニット。
長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。
乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！ （詳細を見る）

腐食性ガスを吸引するプロセスでは、接ガス部が腐食性ガスと接するため、腐食による故障が起こりやすくなります。そのため、接ガス部に耐食性材質を採用することで、故障を低減できます。

◆耐食性材質としてグレードの高いSCS14（SUS316）のステンレスで製造します。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。

◆同じ型式であれば鉄製のポンプとも取り合いが同じため、配管工事不要で、既設機からの置き換えが可能です。

◆水封式真空ポンプですので凝縮性ガスや引火性ガスの排気も可能です。

◆水封式真空ポンプのため排出性が高く、多少の粉塵では止まりません。

◆二段式のため2,300Paの優れた到達圧力が得られます（水温15℃時）。また空気エゼクタとの組み合わせで800～1,300Paまで向上させることが可能です。

◆消音も兼ねた気水分離タンクを標準装備しています。

◆有害ガスが封水に溶解して排出されることを防ぐため、封水を直接流出させずに循環させる「封液循環型」水封式真空ポンプも製造しています。 （詳細を見る）

真空焼結炉では飛散するバインダーが油回転真空ポンプに堆積し故障原因となったり、オイルが汚染され頻繁なオイル交換の必要があります。当社ドライポンプは内部にバインダーが堆積しにくい構造のため故障せず、オイル交換にかかるランニングコストも大幅に削減できます。

●真空焼結炉では油回転真空ポンプからドライポンプへの置き換えが今のトレンドです。

●独自設計のスクリューロータにより、吸引されたバインダーを排出します。
一般的なドライポンプでは内部にバインダーが堆積し、故障の原因となります。

●オプションのクリーニングセットにより、設置した状態のまま、内部に残ったバインダーを洗い流す作業が出来ます。

●シールガス・パージガスを導入することで、軸受・ギア等への汚染を防ぎます。

●設置場所にて、容易に分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業）ができ、ランニングコストを最小限に抑えます。 （詳細を見る）

ケミカルプロセスでは腐食性を含んだ様々なガスを吸引します。接ガス部にステンレス（SUS316相当）を用いることで、通常の鉄製に比べ格段に耐食性に優れる水封式真空ポンプとなります。

◆蒸留、乾燥、反応用途などで数多くの実績があります。

◆接ガス部は耐食性材質としてグレードの高いSCS14（SUS316）のステンレスのため、腐食性ガスの吸引も可能です。

◆粉体・凝縮性ガス・引火性ガスの排気にも最適です。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆Oリングやメカニカルシールの材質変更も可能です。

◆汎用モータ採用のため、防爆型も取付け可能です。 （詳細を見る）

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。
ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。
主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。
特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工具や金型・半導体用治具の生産に多数使用中。
Ｓｉエピタキシャル成長時やエッチング時のの塩素系ガスの排気にも応用可能。
主ポンプのの水封式真空ポンプもALLステンレス製を採用し耐食性にも優れた専用真空排気システム （詳細を見る）

有害ガスが封液に溶解して排水されることを防ぐため、封液を直接流出させずに循環させる「封液循環型」の水封式真空ポンプです。排水処理でお困りの場合に適しています。

◆水封式真空ポンプと気水分離タンク、熱交換器で構成されており、コンパクトにユニット化しました。

◆腐食性ガスが混入する用途では、ステンレス（SUS316相当）等の耐食性に優れる材質への選定も可能です。

◆軸封部はグランドパッキンとメカニカルシールが選択可能です。

◆管板部が分解可能な熱交換器を標準装備しています。 （詳細を見る）

◆化学業界で水封式真空ポンプからドライポンプへ置換える際に、様々な吸引物により、一般的なドライ真空ポンプでは不具合が発生します。当社のドライ真空ポンプは吸引物が内部に堆積しにくい構造のため、故障せず安定した連続運転が可能です。

◆真空蒸留・真空乾燥・反応槽脱気・溶剤回収など、水封式真空ポンプからの置換え実績が多数。

◆独自設計のスクリューロータにより、吸引物を排出します。一般的なドライ真空ポンプでは、少量でも内部に凝固性ガス・粉体・生成物・液体（凝縮性ガス）を吸引すると、故障の原因となります。

◆オプションのクリーニングセットにより、設置した状態のまま、内部に残った吸引物を洗い流す作業が可能です。

◆オプションのシール・パージセットにより、軸受・ギア等への汚染を防ぎます。

◆1Pa以下の到達圧力が得られるので、メカニカルブースタ+水封の組合せでご使用の場合は、ドライポンプ単体にまとめることができ、簡略化・省スペースになります。

◆設置場所にて、容易に分解作業（状態確認・消耗品交換・内部洗浄作業）ができ、ランニングコストを最小限に抑えます。
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