【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

各ランプの光量制御で待機電力削減に貢献！『電子点灯UV照射装置』

PR【省エネ・電力削減】 各ランプ毎に光量調節が可能で１０Aタイプの国産及…

ADPECが提供する電子点灯式UV照射装置は、従来のトランス式の電源を登載したUV照射装置を進化させ、 電子制御方式の電源ユニットを搭載した新UV照射装置です。 本製品はUVランプの調光が可能となり、その範囲は最大10％～100％となっておりますので、 塗装ラインの始動時やセット替え時は10～20%近辺で点灯する事により、待機電力の大幅な削減が可能となります。 また、ランプを複数本...

メーカー・取り扱い企業： J-one（株式会社アドペック/ヤマシン技研株式会社）

スピンコーター組込みドラフトチャンバー

ミカサ社製スピンコーターを組み込んだドラフトチャンバーです

◇ 外装：SS+焼付塗装 内装：SUS304#400相当品 照明：黄色LED コンセント：2ヶ所 作業台へ6mmチューブ接続継手 作業台耐荷重：80～100kg レベルアジャスター 排気風量監視装置付き（標準）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

排ガス処理装置（スクラバー）

排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…

・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

薬品保管庫

クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫

【特長】 ■クリーンルームに対応した排気機能付き薬品保管庫です。 ■酸・アルカリ系薬品に適した塩ビ製、有機系薬品に適したステンレス製の製作ができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり

ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。

【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

レジスト剥離洗浄装置　※テスト可能機種あり

循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置

・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入り...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン