【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

サイドチャンネルブロワー SAMOS ファミリー

脈動のない排気と低騒音が選ばれる理由です。真空、加圧のどちらでもご利用…

【製品説明】 脈動のない排気の求められる用途に理想的な選択肢です。1段式/2段式、アルミダイカスト製/鋳鉄製、加えて幅広いサイズラインナップを備え、技術面コスト面どちらの観点からも最適な製品をお選びいただけます。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速…

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル 　ロードロックチャンバー向けと...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

スクリュー真空ポンプ COBRA NC シリーズ

化学、製薬業界の各種プロセス用途をはじめとした多くのアプリケーションに…

【特長】 ● 高度なスクリュー設計 ● 効率性：省エネ、低メンテナンス、 低運用コスト ● 堅牢性：ベーパーや粒子に対する優れ た耐性、セルフドレン ● 卓越した性能：吸気圧に関わらず優れた排気 速度をキープ ● フレキシブル：空冷方式、各種シーリング、 コーティングを選択可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ドライ真空ポンプ/コンプレッサーSECOファミリー

ロボットのピック＆プレイスや真空包装、印刷業界での紙葉類処理を効率化す…

【製品説明】 実績に裏打ちされたロータリーベーン原理で高速排気。ドライ式で排気がクリーン。これらの特徴が、スピードが肝心のロボットのピック＆プレイスや、クリーンな排気が重要となる真空包装、印刷業界での紙葉類処理でSECOが採用されている理由です。 【特長...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

押出成形機の真空供給に好適：クロー真空ポンプ「 MINK 」

モノマー、オリゴマーを吸引しても怖くない！構造がシンプルでロックしにく…

【主要製品仕様】 ■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar) ■加圧: 2 bar(g) ■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h ■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h 【動作原理】 MINKクロー真空ポンプおよびコンプレッサーの特徴は、爪（クロー）...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

クロー真空ポンプ・コンプレッサー MINKファミリー

低メンテナンス、省エネ、ドライ方式の経済的真空ソリューション

【主要製品仕様】 ■到達真空度: 20 - 200 hPa (mbar) ■加圧: 2 bar(g) ■設計排気速度 50 Hz: 40 - 950 m³/h ■設計排気速度 60 Hz: 40 - 1150 m³/h ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

クロー真空ポンプ MINK MV 0310 B

搬送用ロボットの吸着、真空リフトに好適。効率的かつクリーンなソリューシ…

空ポンプです。 【特長】 ■ エジェクターを使った方式と比較し省電力 　圧縮空気の必要なエジェクター方式と比較し、真空ポンプは高効率。 　３～7割の省エネになるケースもあります！ ■ 排気がクリーン 　圧縮チャンバー内は完全にドライ。吸引したガスが潤滑剤で汚染 　されたり、汚染されたガスが周囲に排 気されることがありません。 ■ フレキシブル 　可変速ドライブ （VSD）搭載...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ドライスクリュー真空ポンプ COBRA DS シリーズ

半導体業界に最適。ドライスクリューポンプのご紹介

スクリューロータ式の為、排気パスが短いドライスクリュー式真空ポンプです。 ブッシュのドライポンプは重負荷から軽負荷プロセスまで幅広く対応できるドライポンプです。 真空ポンプ・ドライポンプに関してはお問い合わせください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

ロータリーベーン真空ポンプ HUCKEPACK ファミリー

２段ステージ圧縮でパワフル吸引！腐食に強く低騒音＆低消費電力で環境にも…

■設計排気速度 : 160-630 m3/h (50 Hz)、190-760 m3/h (60Hz) ■到達真空度 : 0.5hPa (mbar) ■定格モーター出力 : 5.5-15.0 / 9.2-...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

オイル潤滑ロータリーベーン真空ポンプ R5 RDシリーズ

真空包装マシンと高速包装サイクル用途に特化して設計された真空ポンプ。従…

■設計排気速度：160-300 m3/h (50 Hz) ,190-360 m3/h (60 Hz) ■到達真空度：0.1 hPa (mbar) ...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社

全体の運用コストを最大50%削減するドライ真空ポンプ

『FOOMA JAPAN 2023』で実機展示！高効率のドライ真空ポン…

削減 ■ ほぼメンテナンスフリー ■ ドライかつ非接触の圧縮方式 ■ 最新のクロー真空テクノロジー ■ コンパクト 【スペック】 ■ 到達真空度 40 ~ 200 hPa ■ 設計排気速度 40 ~ 1150 m3/h ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本ブッシュ株式会社