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PRTダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…
Tダイに後付けし、オペレーターによるマニュアル操作またはヒートボルトダイに代わって、 ロボット(アクチュエータ)が幅方向にトラバースし機械的にボルトの開閉を実施する装置です。 既設のTダイに取付が可能なため、低コストでの自動化を実現することが可能となります。 Tダイのボルト位置・ボルト角度等は初期設定でレシピ保存・記憶され、 厚み計からのフィードバックを受けることで確実なボルトへのアプロー...
メーカー・取り扱い企業: 伊藤忠マシンテクノス株式会社
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PR膜厚の超高速読み取り機能とBluetooth(R)による測定データの転…
「エルコメーター456 膜厚計&ウルトラ・スキャンプローブ」は、 広い面積、多くの測定箇所で膜厚管理を要求される工事仕様で 素早く膜厚を測定し、データ編集・作成することができる膜厚計です。 毎分140回の速度で膜厚を測定することが可能で、測定値は膜厚計本体に保存。 保存されたデータはBluetooth(R)を使って、モバイル端末、PCに リアルタイムで転送、測定数値を編集アプリで管理することが...
メーカー・取り扱い企業: Elcometer株式会社 エルコメーター
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静電気対策 静電チャック用プロセステープ STチャックテープ
ガラスウェハーを静電チャック! 優れた導電性能・耐薬品性能・耐熱性能!…
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...
メーカー・取り扱い企業: アキレス株式会社 工業資材販売部
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PI、PENを使用した導電性耐熱保護テープ。MEMS、CMOS、IGB…
当社独自の導電処理を施したPI、PENを基材とし、シリコン・耐熱アクリル粘着剤を使用した導電性耐熱保護テープです。ガラスウエハーやガラスサポートウエハーに貼ることで低電圧で静電チャックが可能。MEMS、CMOS、IGBTなど様々なウエハーでご使用いただけます。また、200℃以上の耐熱性、耐薬品性を有することからウエハー表面保護用途としてもご使用可能です。 《特長》 〇従来の半導体設備で転用可能...
メーカー・取り扱い企業: アキレス株式会社 工業資材販売部
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ジャパンマシナリー株式会社 -
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今更聞けない「校正の基礎」を解説。校正とは?成立条件?なぜ必要…
株式会社レックス -
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