チャージアップモニタウエハ(8インチ、12インチ)

ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ…

当社は、テストウエハの半導体技術でお客様の技術開発を支援しております。 テストウエハのサービスは、ベアSiウエハ、膜付ウエハ、パターンウエハ等を提供し、 チャージアップダメージを評価するウエハのサービスは 12インチウエハでも提供可能であり、長期にわたり世界的に評価されています。 ドライエッチ、プラズマCVD、スパッタ、イオン打ち込みのチャージアップ評価が可能、 ウエハサイズは300...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィルテック　 本社

瞬間的にガス加熱・過熱水蒸気の発生が可能！高効率小型熱交換器

高効率に瞬間的にガスを加熱する事が可能！水や水蒸気を加熱して900℃以…

高効率小型熱交換器（ヒートビームシリンダー）は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。 過熱水蒸気には、乾燥、除菌、減容など様々な使用用途があります。 使用される業界も、産業廃棄物・半導体・金属・ガス・食品・医療など様々です。 当社では、"過熱水蒸気による無酸素アニール"のデモを開始しました。 窒素が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィルテック　 本社

小型なのに高熱に！高効率小型ガス加熱器『ヒートビームシリンダー』

最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能！本体寸法11センチからの小…

『ヒートビームシリンダー』は、小型でありながら、ガスや液体等の流体を 効率よく、瞬時に高温に加熱し、最高1000℃付近まで温度をあげる事が可能です。 クリーンな加熱方法なので、プロセスガスの加熱に適しています。 窒素を加熱して生成した高温N2を半導体製造装置の排気ラインに用いると 反応生成物の付着を防止できます。また水を直接加熱して過熱水蒸気発生装置と することができ、様々な用途...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フィルテック　 本社