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均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング
「ユニフォームプラズマスパッタ装置」はいわゆる対向ターゲットスパッタ方式を採用しています。従来の対向ターゲットスパッタ方式はミラー磁場をそのまま利用したものですが、ミラー磁場の特性を生かしつつスパッタリングすることを目的として改良されています。 ミラー磁場を利用したプラズマ閉じ込め方式をスパッタに利用するのはとても有効で、スパッタ利用のためにその形態を大きく変える必要がなくターゲットを2枚対向さ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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真空ビューポート(ガラス窓)
真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約φ52です。窓材質:コバールガラス...真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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