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MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料…
容器寸法:φ150×200H、排気系:2インチ拡散ポンプ(LN2付)+ロータリポンプ20L/min。メインバルブには2インチサイズを採用しポンプの排気能力を有効に引き出します 。真空容器の金属部、メインバルブ、3方バルブ、リークバルブはステンレス材を採用しています。...電源は別置きとなっています。排気系はターボ分子ポンプに変えることも可能です。カスタムオーダーにも対応可能です。多元蒸着装置・大...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング
「ユニフォームプラズマスパッタ装置」はいわゆる対向ターゲットスパッタ方式を採用しています。従来の対向ターゲットスパッタ方式はミラー磁場をそのまま利用したものですが、ミラー磁場の特性を生かしつつスパッタリングすることを目的として改良されています。 ミラー磁場を利用したプラズマ閉じ込め方式をスパッタに利用するのはとても有効で、スパッタ利用のためにその形態を大きく変える必要がなくターゲットを2枚対向さ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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信頼性の高いシステムを構築!メンテナンスや改造も当社にお任せください
当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を 主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や 安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの 各種研究用装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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真空ビューポート(ガラス窓)
真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約φ52です。窓材質:コバールガラス...真空用ビューポートです。真空チェンバー内部までガラス窓を直接導入することができます。窓は板ガラスを使用していますので歪が少なく抑えられます。有効視野はICF114を使用した場合、約...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ヤシマ
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