簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/sの広域型ターボ分子ポンプを搭載。
● 価格500万円(税込み)
● φ3インチターゲット 1元カソード
● RF300W電源、自動マッチングボックス付
● ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、
マスフローコントローラーによる調整
● 酸化物など絶縁体のスパッタが可能。
● オプションにて基板ヒーターの取付可。
● 余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。
● 800W×600L×900Hの省スペース
基本情報実験用スパッタ装置
拡張性
● 基板回転機構の追加（後からの追加が可能）
● 基板加熱機構の追加（後からの追加が可能）
● スパッタソースの多元化(チェンバー作製時に対応型にする必要があります）。
● その他お客様のご希望によるカスタム設計には出来る限り対応いたします。
| 価格情報 |
￥5,000,000.- 税込み、オプションなし、ガス供給、冷却水チラー等一次側設備は含みません。 |
|---|---|
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
| 納期 |
お問い合わせください
※3ヶ月 |
| 型番・ブランド名 | RFマグネトロンスパッタ装置 |
| 用途／実績例 | ● 研究機関の各種実験 ● 電子顕微鏡用試料 |
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