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PRシングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…
『1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機』は、 高圧スプレーや超音波スプレー、薬液等の非接触洗浄、 ブラシ等の接触洗浄など、様々な組み合わせが可能な洗浄機です。 1つのチャンバーで洗浄からスピン乾燥まで完結し、 省スペース設計のため、設置スペースとコストの削減に貢献します。 各種装置構成、薬液構成、目的とする洗浄性能やご予算など、 ニーズに応じて最適な装置構成をご提案可能です...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ゼビオス(XEVIOS CORP.,)
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フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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実機見学で吸着テスト可能!20kg可搬の人協働ロボットで、コンパクトに…
00mm) ■処理能力:最大6サイクル/分(協働モード稼働時) ■積付高さ:最大1、900mm ■先端位置最大速度:1、000mm/s(協働モード)、2、000mm/s(通常モード) ■標準構成:ロボット、ハンド、架台(パレットガイド、ボタンスイッチ含む) ■オプション:レーザスキャナ、コンベア、PLC・タッチパネル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社山善
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ロボットと合わせて前後工程もトータルでご提案!自動化を検討されるお客様…
【パッケージ構成】 ■モニターボックス ■安全機器マウント ■折り畳み式キーボードテーブル ■コンベア高さアジャスタ ■カメラマウント ■ライトマウント ■遮光板アジャスタ ■H型配線ダクト/機器ボ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社山善
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株式会社イーピーイ/トリコン販売株式会社 -
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