【折損を確実に検出】工具折損検出装置『FEM』

PR新たにステッピングモータ、カップリングレス構造を導入し、 製造部品の…

極東マシーンツールの工具折損検出装置は、ステッピングモータ、ギア・カップリングレス構造を導入することで、装置の長寿命化に成功しました。 また、センシングヘッドの交換スパンが長くなり、結果的に製造部品の生産効率向上、購入費用軽減によるコスト削減効果がもたらされます。 更に、センシングヘッドの先端に取り付けたニードルを回転させ、工具との接触により折損を確実に検出し、瞬時に機械を停止することができま...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社極東マシーンツール 本社

ファイバーレーザーロボット架台

PR保護メガネ、アンカー不要！レーザー発振器の接続が容易なFANUC CR…

当社で取り扱う「ファイバーレーザーロボット架台」をご紹介いたします。 手動とロボットの切り替えが簡単にできる「2 in1 system」を採用した CRX-5iAと、光漏れがない高い精度の架台を一体化。 架台へのロボット搭載、配線、入電確認は標準対応です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【標準装備品】 ■操作パネル ■シグナルタワー ■安全ドアスイッチ ...

メーカー・取り扱い企業： エヌアイシ・オートテック株式会社 東京本社

化合物半導体用電極膜アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

化合物半導体の電極膜の合金化・低抵抗化に多用されている石英管タイプのア…

横型石英管タイプを標準とし４００～１０００℃程度の加熱に対応しています。 ４～６インチウェハの本格量産用途に対応した縦型タイプ（ウェハ自動搬送機構付）と４インチ以下のウェハに対応した横型タイプの２機種をラインナップ。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

６インチウェハ対応の石英管の横型炉を標準とし、8インチ、縦型炉がオプション対応 高真空排気系も装備可能で、より純度の高い還元雰囲気熱処理が可能。 実績豊富な機器構成に加えボートローダーやデータロギング機構などの周辺機器も豊富にラインア...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型真空オーブン

　高真空でも大気圧でも均一加熱、安定加熱　乾燥・脱ガス・ベーキング・ア…

数の処理モードを１台で実現。 高真空中の均一加熱で脱ガス・ベーキング。 低真空・ガスフロー雰囲気で脱泡・脱脂・真空乾燥。 真空置換後の不活性雰囲気で部品・成形品　高速加熱アニール 実績豊富な標準タイプから各種カスタマイズで個別対応 目的に合わせて小型からラインナップ。...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

バッチ式真空半田付装置（フラックスレスリフロー　真空リフロー）

パワーモジュールからウェハバンプまでフラックスレス・ボイドレスリフロー…

するバッチ式真空半田付装置 真空排気による低酸素雰囲気での高速・均一半田付。真空・常圧・各種雰囲気（還元・不活性）の組合せにより高いレベルのボイドレス半田付を実現。車載用高信頼性パワーモジュールの標準プロセスの基本型。 処理量＆性能ＵＰの新型登場。 新型機を工場に設置。装置見学およびサンプルテスト積極対応 前処理のプラズマクリーニングも含めボイドレス・フラックスレス半田付テスト実施 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

横型水素アニール装置（可変雰囲気熱処理装置）

小径ウェハ（４インチ）や化合物半導体のニッチプロセスに対応。結晶プロセ…

横型石英管タイプのホットウォール型の専用アニール装置。 ターボ分子ポンプとドライ真空ポンプによるクリーンバキューム＆大気圧水素雰囲気による高純度還元熱処理を実現。 石英管急冷機構を標準装備。短タクト処理を実現。 拡張機能により６インチウェハまで対応。 水素雰囲気還元熱処理に加え高真空アニールや減圧中ガスフロー熱処理等各種モードの処理が可能。 社内実験機で大気圧水素アニールに...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）

急速昇降温が特徴の小型熱処理装置。有機基板の乾燥・脱ガス・ベーキングな…

急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。 長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。 標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

金属ナノペースト焼結接合対応真空半田付装置

神港精機の真空半田付装置に新型登場　優れた均熱性・昇降温特性と雰囲気制…

実績豊富な標準バッチタイプ真空半田付装置の性能・処理能力を一段と向上 処理寸法３５％以上拡大。常用処理温度も１００℃以上アップ。 量産に対応した新型真空半田付装置。 真空置換＋水素還元雰囲気処理で低温・焼結...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店