小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

バッテリー電源用『車輪付き走行モータ』※カスタム対応可能

PRコンパクト設計のユニットタイプ。AGV、高所作業台車、フォークリフトな…

『車輪付き走行モータ』は、独自の技術とノウハウにより ユニット化・ローコスト化を実現した製品です。 高さ・長さ方向をフラットにしたコンパクトな設計になっており、 出力範囲100W～2.5kWまでシリーズ化されています。 標準仕様のウレタンタイヤからゴムタイヤ等への変更が可能。 特注でのカスタム対応もOKです。 【特長】 ■フィードバック制御が可能 ■スロースタート・スト...

メーカー・取り扱い企業： ユニテック株式会社

インラインコーティングシステム（FCVA）

スパッタとの組み合わせも可能！大量生産に適したインライン式FCVA装置…

ご紹介します。 大量生産に適したインライン式FCVA装置。 チャンバー数を任意に選定可能です。 また、スパッタとの組み合わせも可能。 ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構です。 【特長】 ■FCVAとスパッタを装備 ■ヒーター、イオンビームによる基板クリーニング機構 ■DC、MF、RFのスパッタ電源が選択可能 ■自公転タイプサンプルフォルダー ■チャ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

ロードロック式FCVA装置

良好な膜厚分布が得られます！カスタマイズ可能なロードロック式コーティン…

ードロック方式により、膜質の安定性を向上し、パーティクルの 付着を抑制します。 ガラスレンズモールドの離型膜形成用の装置として、主要レンズメーカー 各社で使用されています。 基板回転機構により、良好な膜厚分布が得られます。 「FCVAカーボンソース」、「FCVAメタルソース」、「イオンビーム」 「スパッタ」などの要素技術を1つの装置に組み合わせることが可能です。 【特...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン