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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』
PR真空装置メーカーの技術・経験を結集!自社設計により柔軟な仕様変更とリー…
当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社エイエルエステクノロジー
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1.3〜100kPa(10〜756Torr)という高真空から低真空まで…
が得られ 必要に応じ設定真空度の変更ができる真空自動制御スイッチ ■真空内検出素子として、ベロ−ズ内部を高真空状態で 密封したものを使用している為、気圧の変動を受けにくい ■電気的開閉機構は鋭感なるスナップアクション機構により 開閉の信頼性を確保し、シンプルな設計で累積誤差の少ない 極めて動作感度の高い構造のため、精度の高い 長寿命性を要求する真空制御の検出端として最適 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三和電機製作所
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