小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

直動システム｜ラック＆ピニオン直動システム

PRボールねじ搬送のたわみ・速度制限・大口径化・モータ大型化の悩みを解決！…

当社のラックアンドピニオン直動システムは、“高精度・高速・高搬送力・高耐久・長尺”を兼ね備えます。搬送重量がトンクラスでも高速・高精度に搬送可能。ラックはマシンベッドに直接設置の為、ボールねじで発生する”たわみ”の心配は不要です。 バックラッシ最小1arcminの遊星歯車減速機と、累積ピッチ誤差最小30μm／1000mmのラックにより、非常に高精度な位置決めが可能。ラックは最長2mですが、並...

メーカー・取り扱い企業： ストーバー・ジャパン株式会社

アニール炉

縦型抵抗加熱方式を採用！扉式に比べヒータ内への異物巻き込みを極力低減し…

を加熱することができる装置です。 縦型抵抗加熱方式を採用する事で、均熱特性が良く、扉式に比べヒータ内への 異物巻き込みを極力低減し、装置占有面積も小さくすることを実現。 また、炉床昇降機構及び、炉床台車引出し機構を装備しているため、より安全 かつ容易に炉床台へのワークの出し入れが行えます。 【特長】 ■縦型抵抗加熱方式を採用 ■二珪化モリブデンヒータを採用 ■大気雰囲気...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三幸

縦型抵抗加熱炉『T11-18VR』

二珪化モリブデンヒータを採用！常用1800℃まで昇温可能な縦型抵抗加熱…

置占有面積も小さくする事が可能 ■二珪化モリブデンヒータを採用しており、常用1800℃（最大1830℃）まで昇温可能 ■坩堝昇降軸の動作を精動作から粗動作までシームレスな動作が可能 ■坩堝昇降機構を装備しているため、より安全かつ容易に坩堝の脱着が行える ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三幸

真空高温抵抗合成炉

カーボンヒータユニット、試料移載ユニットを装着した真空高温抵抗合成炉

【その他の特長】 ■制御用熱電対温度などをデータロギング及び、CSVデータとして保存可能 ■上下移動機構を装備しているため、安全かつ容易にワークの出し入れが可能 ■ヒータ温度、バルブ動作、流量制御をレシピにて管理し、自動制御にて運転が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社三幸