【事例】平面研磨によるPKG内の故障解析

平面研磨によるPKG内の故障解析の事例紹介です。

・研磨ホルダ：ガラス試料ホルダ ・研磨ポイント：電気的特性結果で絞り込んだ部位を研磨／観察を繰り返しながら 　　　　　　　　　　研磨加工する。研磨量調整ユニット機構を使用し観察点を絞り込む。 ・PKG裏面からL/F手前まで慎重に研磨する。 　正しい観察が重要で、研磨する試料の構造を把握できる資料（X線画像）等の準備が大切です。 ・研磨目的箇所に到達するまで「研磨量調整ユニット」のを活用し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社池上精機