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平面研磨によるPKG内の故障解析の事例紹介です。
・研磨ホルダ:ガラス試料ホルダ ・研磨ポイント:電気的特性結果で絞り込んだ部位を研磨/観察を繰り返しながら 研磨加工する。研磨量調整ユニット機構を使用し観察点を絞り込む。 ・PKG裏面からL/F手前まで慎重に研磨する。 正しい観察が重要で、研磨する試料の構造を把握できる資料(X線画像)等の準備が大切です。 ・研磨目的箇所に到達するまで「研磨量調整ユニット」のを活用し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社池上精機
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