FOUPロードポート『TAS300』

長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮！優れた耐久性のロー…

『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP（FrontOpening Unified Pod）を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び 繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。 可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した...

メーカー・取り扱い企業： TDK株式会社 テクニカルセンター