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長時間のドア開閉繰返し動作でも安定した高性能を発揮!優れた耐久性のロー…
『TAS300』は、各種半導体製造装置に取り付けられ、半導体製造工程にて 使用されるFOUP(FrontOpening Unified Pod)を自動的に開閉するための 標準ロードポートです。 半導体製造装置に要求される低発塵性、高スループット、及び 繰り返し動作の耐久性について、最高クラスの性能を有しています。 可動部は、マッピングユニットを含め全てウエハ面下方にあり、徹底した...
メーカー・取り扱い企業: TDK株式会社 テクニカルセンター
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