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スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・…
弊社グループ会社の洗浄装置はフォトマスク/レチクル製品のハイクリーン化と歩留向上に寄与し、より完成度の高い製品の生産にご協力致します。 【特徴】 ・ハイクリーン化と歩留向上に貢献 ・検出限界レベルまで有機物・金属イオン・異物を除去可能 ・ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツール ・RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 ・機能水を使用し...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社渡辺商行
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薬品量の削減、排水処理負荷の低減などに貢献!機能水装置を多数ラインアッ…
を使用する事により薬品の使用量を削減し、環境・安全面はもちろん、 企業・製品のイメージアップにもつながります。 当社では、立上りの速いオゾン水を供給可能な「オゾン水装置」をはじめ、 「水素水装置」や「超純水帯電防止装置」などをご用意しています。 【特長(オゾン水装置)】 ■立上りの速いオゾン水を供給 ■150ppm以上の高濃度オゾン水も供給可能 ■オゾン水濃度計、環境オゾン...
メーカー・取り扱い企業: 日東機器ファインテック株式会社
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