FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

組込用小型高圧ポンプ　FSBL-50

PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…

『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノメイト

塗膜の剥離・汚れの洗浄に　水溶性重曹ブラスト剤『エコブラスト』

素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト剤。原料の重曹が酸性成分…

エコブラストは幅広い洗浄用途に適した、環境に配慮した水溶性ブラストメディアです。 素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト洗浄剤です。機械部品や船底の塗膜剥離、油分・スケールなどの除去などに好適です。 【洗浄作...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

塗膜剥離・洗浄用　水溶性重曹ブラスト材『エコブラスト』

素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト材。原料の重曹が酸性成分…

エコブラストは幅広い洗浄用途に最適な、環境に優しい水溶性ブラストメディアです。 素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト洗浄剤です。機械部品や船底の塗膜剥離、油分・スケールなどの除去などに最適です。 【洗浄作業...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー

塗膜の剥離・付着物の除去に　水溶性重曹ブラスト剤『エコブラスト』

素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト剤。原料の重曹が酸性成分…

エコブラストは幅広い洗浄用途に適した、環境に優しい水溶性ブラストメディアです。 素材を傷つけにくく、そのまま水に流せるブラスト洗浄剤です。機械部品や船底の塗膜剥離、油分・スケールなどの除去などに適しています。 【洗浄...

メーカー・取り扱い企業： ＡＧＣ株式会社 化学品カンパニー