【書籍】先端半導体製造プロセスの動向と微細化（No.2220）

PR【試読できます】－成膜技術、リソグラフィ、エッチング、CMP、洗浄－

書籍名：先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ★ムーアの法則の限界が叫ばれる中、微細化技術の開発はどこまで続くのか！ 　　新構造、新材料の適用が進む、先端半導体製造「前工程」の最新技術を網羅した一冊 －－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－ ■　本書のポイント　1 ・EUVリソグラフィの最新動向とレジスト、マスク、光源の技術課題 ・これ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社技術情報協会

金型などの洗浄「ドライアイス洗浄とは？」※ホワイトペーパー進呈中

PR母材を傷つけない、高効率・低コストの新しい洗浄技術。6種類の洗浄方法の…

『ドライアイスブラスト洗浄』は、圧縮エアで噴射したドライアイスが 母材と汚れの間に入り込み、昇華時に約800倍に膨張する爆発力を用いて、 母材を傷つけることなく汚れを除去できます。 【特長】 ■非研磨なので母材を傷つけない ■薬剤不使用なので環境負荷が低い 　（二次廃棄物がなく、有害物質などもない） ■効率よく洗浄できるのでダウンタイムなし ★現在、プラスチック・ゴム部品な...

メーカー・取り扱い企業： Cold Jet

ドライアイス洗浄装置

残留物が発生しない革新的洗浄工法！

母材を傷つけず、残留物を発生させる事無く洗浄剥離する技術はこのドライアイス洗浄の他はありません。汚染物に対してペレット量・洗浄圧力を制御しながら、最適な条件を制御できるのも大きな特徴と言えます。...既存の洗浄工法とは全く異なる洗浄装置です。洗浄メディアにドライアイスを用いる為、洗浄中，洗浄後における残留物が発生しません。ドライアイスは洗浄中、母材に衝突し気化してしまうからです。まるで推理小説に出...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東洋ユニオン