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新発売!低流量の配管の通水をひと目で確認「フローモニター小口径」
PR成形機周辺の配管に!狭いピッチにも対応、レンズ部分のみの交換が可能でコ…
『FMC-25-1F/FMC-25-2F』は、レンズ交換タイプのフローモニターです。 従来品「FMC-30-3F/FMC-30-4F」の小口径タイプが新登場! 従来のフローモニターよりさらに低流量(0.6~6L/min)な配管に対応しています。 2色の羽根の回転で流体の流れを目視で確認でき、低流量時の流れがより見やすくなりました。 金型の小型化に伴う、狭いピッチにも取付可能です。 従来品同様、配...
メーカー・取り扱い企業: 日東工器株式会社
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PR電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年…
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社テクノメイト
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-800シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1900
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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バブラーの内部洗浄が容易に可能!流量可変時の影響を極力抑え高精度露点を…
に出来ます。 また、オプション仕様の、バブラー制御BOX・液面センサー・給水ポンプ等と 組み合わせることで、簡単に連続実験を行うことが可能です。 【特長】 ■水温・気相温の2段温調、流量可変時の影響を極力抑え高精度露点を実現 ■バブラー上部がクランプ式、ヒーターがマントルヒーターで、バブラー内部の 洗浄が容易 ■水中ガス噴出し部や、特殊な内部構造で安定性・再現性を重視 ■...
メーカー・取り扱い企業: コフロック株式会社 本社(京田辺工場)、八幡工場、東京、大阪、名古屋、福岡
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最高使用温度 400℃対応の高性能メンブレンガスフィルター
GasProTEM-700シリーズは、反応性のガスやハロゲン化マイクロエレクトロニクスガス用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、フィルター材質は0.01ミクロン。大流量で低いデルタPが必要なケース、またスペースが限られているところに最適です。 本体はグラスファイバーとSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジングで構成されており、類似サイズのメンブレンフィルターよ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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【選定ガイド進呈中】4ステップで簡単選定!様々なガスフィルターからご状…
フィルターの選定ガイドの手順1~4を参照し、TEMからはじまるシリーズ名と、継手をご指定ください。 <選定手順> ・ステップ1 ガスの温度 ・ステップ2 ガスの種類 ・ステップ3 ガスの流量 ・ステップ4 継手のサイズと形状 →ご状況に適したガスフィルターの選定が簡単4ステップで完了します! ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-400シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-300シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
GasProフィルターは、あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDA(クリーンドライエア)のフィルター用に特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 PTFEメンブレンとポリプロピレンで支持されたカートリッジ、そしてSUS316Lの電解研磨された溶接ハウジン...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1400
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1300
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1100
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1800
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1200
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1500
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
GasProフィルターは、半導体ガスフィルター用として特別に設計されています。全溶接構造になっており、大流量が必要でスペースが限られているところでも0.003ミクロンのろ過精度を実現しています。 メディア材質はPTFE、溶接ハウジングには電解研磨されたSUS316Lが使用されております。清浄度を確保...
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