小型でも目詰まりしない超微細粒子の噴射用スプレーノズル

PR【アトマックスノズルAM６型】 極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で…

アトマックスノズルAM6型は、極めて少ない流量の液剤を微細な粒子で噴射する作業に適しております。 噴射の圧縮気流量も、従来型のスプレーノズルに比較し小流量で細かな粒子を得ることができます。 主な使用用途として、半導体ウェハへ精密スプレイ・電子部品・機能部品材料の 製造過程において極少量の噴射・散布、コーティングが挙げられます。 ※詳しいスプレーノズルの詳細は、PDFをダウンロードいただ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アトマックス

Micro Motion Gシリーズ コリオリ流量計・密度計

PR超コンパクトで軽量なデザイン！限られたスペースでも利点を簡単に利用

『Micro Motion Gシリーズ コリオリ流量計・密度計』は、コリオリ技術 により、液体・ガス⽤途で⾼精度の質量流量及び密度測定が可能な製品です。 容積流量計を当製品にアップグレードすると、⼿頃な価格で精度を⾼め、 データ収集を改善してプロセスを最適化可能。 直接的な質量流量と密度の測定を⾏う当製品は、可動部品がなく、 整流が不要なため、タービン、熱式、PD メータからアッ...

メーカー・取り扱い企業： 日本エマソン株式会社 メジャメントソリューションズ

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ

新製品TGkine4200M発売！！余計な配線が不要で作業効率とメンテ…

電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ　新製品TGkine4200M 発売！！このたび 新製品TGkine4200Mの開発に成功しました。 他社製品に比べコンパクトな割りに流量が大きい、等の特徴がございます。 9月に開催予定の真空展２０１５へ実機展示し、パネル等で仕様をご説明する予定です。 TGkine4200Mを加えたTGkine３シリーズ (TGkine2200M...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG2400M

大流量 排気・低振動に対応したターボ分子ポンプ

【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長について...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

【MS-3C100L ソフトウェア機能】 ■製膜ログ機能 ・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・ 　基板ホルダー回転速度の自動保存が可能 ■製膜レシピ機能 ・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・ 　スパッタ電力値・基板ホルダ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG5000/5003 TG5500/5503

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ

余計な配線が不要で作業効率とメンテナンス性が向上！

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1810/1813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1303

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG1003

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG2813

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG3213

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG203

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG3413

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

複合分子ポンプ　TG553

油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形複合分子ポンプ　TG390M

広領域排気：低～超高真空まで広領域の排気に対応した磁気軸受型ターボ分子…

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所