広域磁気浮上型ターボ分子ポンプ MAG W 300

５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応

高い評価をいただいていた ＴＵＲＢＯＶＡＣ ３４０Ｍ の後継機種です。 コントローラ搭載型に加え、新たにセパレートタイプもラインナップに加わりました。 ５軸制御でＣＥ／ＲｏＨＳ指令対応です。 特長 ■高信頼性・高効率と低振動・低騒音レベルを両立させた、新型の５軸磁気ベアリングおよび駆動システム ■あらゆるガスで高排気速度および高圧縮比を実現する強力なシステム性能 ■ベアリングおよび駆動システム用...

メーカー・取り扱い企業： ライボルト株式会社