浮上搬送装置『エアベアリングバー』

多孔質カーボン使用で高効率！極薄ガラスのための高精度浮上搬送装置

『エアベアリングバー』は、0.1mm厚ガラス対応の精密浮上搬送装置です。 ノンコンタクトチャッキング技術が極薄ガラスの浮上搬送をアシスト。 極薄ガラスのたわみを解消し、乗り移りを可能にします。 また、たわんだガラスでも、矯正しつつ高精度に非接...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

浮上搬送用ロール『エアベアリングロール』

多孔質×カーボンでウェブを触れずに搬送！流体膜による偏荷重のないウェブ…

■タンケンのエアベアリングロールの特長 　・国内メーカーで唯一「多孔質カーボン」を使用 　　→多孔質からの均一な流体膜によりウェブを浮上搬送します。 　・静圧気体軸受(エアベアリング)の技術を応用 　　→強固な流体膜によりウェブを支持し、隙間変化を起こしません。 　・低消費空気量と低発塵を同時に実現 　　→使用する環境への汚...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ

非接触吸着盤『ノンコンタクト チャッキング』

極薄ウェーハも極薄ガラス基板も低ストレスで非接触固定！高精度非接触吸着…

『ノンコンタクト チャッキング』は、流体静力学による安定した浮上特性と、 真空吸引による予圧効果で低ストレスと強力な把持力を両立した 非接触吸着盤です。 独自開発した非接触吸着技術採用で、空気消費を抑え、 優れた静音性を実現しました。 【特長】...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タンケンシールセーコウ