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高純度ガス(純度99.999~99.99999%)や半導体用ガス・腐食…
『SRQ-1HL・SRQ-1LL』は、二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、ガスの安定供給が可能な圧力調整器です。 スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造です。波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。外部シールは...
メーカー・取り扱い企業: ヤマト産業株式会社
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接ガス部のネジ構造を排除!パーティクル低減を実現したジボラン専用圧力調…
いいただけます。 S-TORR調整器は、半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いている TORR調整器をベースに開発した超高純度ガス用圧力調整器です。 【特長】 ■ジボラン専用二段減圧式機種 ■接ガス部のネジ構造を排除し、標準で電解研磨を施している ■非常に高い水分置換特性、パーティクル低減を実現 ■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施 ■内部リークを抑えるため、...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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一次側高圧用標準機種!電解研磨仕様品の製作も可能な高純度ガス用圧力調整…
一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減。 組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っています。 一次高圧用の標準機種としてシリンダーキャビネットなどの一次減圧設備に 広くご使用いただいております。 【特長】 ■一次側高圧用標準機種 ■組立は全数0.3μmクラス1000のクリーンルームで行っている ■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リー...
メーカー・取り扱い企業: 日酸TANAKA株式会社 産業機器事業部
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