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ビュルケルトのMFCで大差圧(2.2MPa)、大流量(2500lN/m…
た技術・実績をベースに大差圧・大流量でも気体の質量流量制御をMFCで実現いたします。 【1台で何役もこなし、トータルコスト削減!】 ●大差圧(2.2MPa)に対応することで、従来必要だった減圧弁やレギュレータが不要になります。 ●大流量(2500lN/min (N2))に対応するとこで、複数のMFCを一台に集約することができます。 ●小流量から大流量まで(例えば50~2500lN/m...
メーカー・取り扱い企業: ビュルケルトジャパン株式会社
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気体(ガス)の流量制御はマスフローコントローラで簡単・確実に!
ビュルケルトのマスフローコントローラは小~大流量を1台で簡単に制御でき…
【特長】 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、IoT世代MFCの開発に成功いたしました。 ●小~大流量まで1台で対応できます。 (例えば、例えば2500Nl/min(N2)までを1台でカバー) ●...
メーカー・取り扱い企業: ビュルケルトジャパン株式会社
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小~大流量を1台で制御!微小~高差圧(10kPa~1.0MPa)にも対…
【特長】 弊社独自の高性能調量弁(比例電磁弁)を搭載することで、従来のMFC数台分、減圧弁やシャットオフ弁の機能もカバーした、IoT世代MFCの開発に成功いたしました。 ●小~大流量まで1台で対応できます。 (例えば、20~1500 Nl/min(N2)を1台でカバー) ●幅...
メーカー・取り扱い企業: ビュルケルトジャパン株式会社
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