FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

産業用エアカーテン

風のカーテンで外気の侵入を防止！防虫・防塵はもちろん冷暖房効率もアップ…

が高い噴出し噴流 ＊−２０℃〜＋６０℃まで、広い使用温度範囲 ＊吹出し角度調整可能 ＊保守管理が不要 ＊すばやい起動特性 ※オプションでヒーターをつけることも出来ます※ 外気の遮断＋温風の同時効果で寒い時期も快適な空間にします。暖房不十分な出入口や、室内陰圧による外気流入の激しい場所に好適。 要望にあわせ「蒸気ヒータ」、「温水ヒータ」の２タイプをご用意。 ■エアカーテンのご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社鎌倉製作所