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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました! 【特長】 ■広い測定範囲を実現(10^5Pa ~ 10^...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド!極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディ…
クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。 大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました! 【特長】 ■広い測定範囲を実現(10?Pa ~ 10-?...
メーカー・取り扱い企業: 東京電子株式会社
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