東京電子株式会社 真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で!センサー・回路部・ディスプレイ一体型の真空計。コンパクトで設置スペースも節減!

クリスタルゲージとコールドカソードゲージを組み合わせ、広帯域の計測を1台でカバーする複合型真空計です。
大気圧から高真空まで、切り替え操作なしで計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。

構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました!

【特長】
■広い測定範囲を実現(10?Pa ~ 10-?Pa)
■真空計設置スペースを節減
■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現
■高真空部は耐久性の高い新しい構造のCCGを採用
■イージーメンテナンス

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

【その他特長】
■大気圧から低真空領域のクリスタルゲージ部は、水晶振動子と気体分子の摩擦によるインピーダンスの変化を読み取ることにより、真空計測を行っています。 精度・再現性に優れており、信頼性の高い計測が可能です。

■高真空領域のコールドカソードゲージ部は、マグネトロン放電により残留ガスをイオン化し、圧力を測定します。
コールドカソードゲージはホットカソードゲージと異なり、フィラメントを持たず、丈夫で信頼性の高い計測が行えます。

○CC-10はRoHS指令に準拠した環境に優しい製品です。

価格情報 定価 242、800
価格帯 10万円 ~ 50万円
納期 ~ 1ヶ月
型番・ブランド名 CC-10?ICF70
用途/実績例 【用途】
■真空蒸着装置
■光学薄膜生成装置
■加速器とUHV研究
■電子デバイス製造装置
■光電子工学のデバイス製造装置 など

カタログ真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

取扱企業真空計『コンビネーションゲージ CC-10(ICF70)』

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東京電子株式会社

○自社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ ○他社ブランド真空計開発・設計・製造 ・コンビネーションゲージ  ・ピラニゲージ  ・コールドカソードゲージ  ・ホットカソードゲージ  ・その他 ○加速器向け製品 ・各種真空計  ・真空ポンプ用電源  ・真空排気装置 ○電子(応用)機器の受託設計・製造 ・各種制御機器

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