半導体業界向け特殊セラミック部品＜カタログ無料進呈中＞

PRエッチング工程、CVD工程への使用に。高い熱伝導率の「窒化アルミ」、耐…

当社は、半導体製造の分野における、 熱特性や異物発生防止のニーズに応える特殊セラミック部品を提供しています。 窒化アルミは、最高220W/m・Kの熱伝導率で、最大φ500のプレートを提供可能です。 イットリアは、高い耐プラズマ性を備え、焼結材部品と溶射材をラインアップ。 溶射時には高い密着性により、パーティクル低減のニーズに対応可能です。 【特長】 ■窒化アルミは、半導体装置向...

メーカー・取り扱い企業： 千代田交易株式会社

高性能ブレードタイプミスト分離装置　ミストエリミネーター

PR長寿命！低コスト！特殊形状のブレードが20μm以上のミストを99.9％…

eブレードは、ミスト分離に優れた特性を持つ納入実績の多い装置です。特殊形状のミストエリミネーターブレードを使用しているため、20μm以上のミストを99.9％以上除去、回収する性能を持っています。また、圧力損失も低く、最大風速時でも300Pa以下です。 【特長】 ■風速が8m/secまでとれるため、コンパクト設計。 ■耐蝕FRP及びプラスチック製のため優れた耐蝕性。 ■特別な設計費等の発...

メーカー・取り扱い企業： イーテクノ株式会社 本社

【オーダーメイド装置製作 チップ部品外観検査装置 OVS

THE現場を意識したシステム構成と安定性！多種のオプションも準備してお…

ます。ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■ワークコーナーエッジ・裏面も安定検査 ■ワークとカメラ・照明を正対 ■2シャッター2照明方式採用 ■ワークを無負荷状態で特殊搬送 ■不良を見逃さない多種の照明を準備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： オカノ電機株式会社

ウェハ外観検査装置『OVS-5120シリーズ』

激化する競争に勝つ！ローコストでハイパフォーマンスマシンをご紹介

-5120シリーズ』は、ロードポートから供給されたウエハを XYθステージにセットし、高速高解像度カラーエリアカメラで、 致命欠陥検出を行うウェハ外観検査装置です。 不良品に良品を入れず、特殊照明とソフトウェアで安定した不良検出。 また、ロット間バラツキ吸収ソフトウェアで、独自の学習ソフトを 搭載しております。 【特長】 ■驚異の検出力 ■再現性 ■現場に強い対応力 ...

メーカー・取り扱い企業： オカノ電機株式会社