ハイパースペクトルカメラ　SPECIM FXシリーズ

PR可視域～中赤外域まで高速測定！

非接触・非破壊で可視領域及び目では見えない 近/中赤外領域の２次元スペクトルデータを取得可能！...産業用および実験室用に設計されています。ラインスキャンモードで動作します。 ...

メーカー・取り扱い企業： コニカミノルタジャパン株式会社 センシング事業部

超高画素 2億5000万画素/1億2700万画素 CXPカメラ

PR超高画素カメラによる広視野角・超高精細な撮像が可能で、各種MV用途に好…

Sony社製 CMOSセンサ(Pregius IMX661/3.6型)を搭載した、1億2700万画素のCoaXPressカメラ「VCC-127CXP6」と、Canon社製CMOSセンサ(Ll8020SAM/APS-H型)を搭載した、2億5000万画素のCoaXPressカメラ「VCC-250CXP1」。どちらも超高解像度を誇り、各種外観検査(液晶・基板・半導体ウエハ・建築物等の欠陥/異物/形状)、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社シーアイエス

高圧パルスジェット DP-Gun　マスク・ガラス・ウェハー洗浄に

同じ圧力なら水の使用量が1/3、同じ流量なら圧力が3倍、少ない流量で繰…

P－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

1チャンバー型薬液スピン・スクラブ洗浄機

シングルチャンバーで各種洗浄からスピン乾燥まで完結。省スペース設計で研…

【用途例】 ・異物（有機物、無機物）の除去 ・金属イオンの除去 【洗浄工程】 ・界面活性剤、純水スクラブ洗浄 ・薬液スプレー ・メガソニックスポットシャワー ・スピン乾燥 【洗浄対象物】 各種...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

LT・SiC等2〜6インチ小径ウェハ両面同時薬液スクラブ洗浄装置

ワーク表裏面に触れない搬送・乾燥と異物、金属汚染の除去を可能にした薬液…

ポリッシュ後の研磨スラリーをディスクスクラブ洗浄で除去し、薬液スプレー、メガソニックスポットシャワー、スピン乾燥できる枚葉洗浄装置です。 強固着物の除去と薬液スプレーによる金属汚染除去が可能で、オプションで端面同時のスクラブ洗浄も対応できます。 ■表裏側面を同時に洗浄可能 ■被洗浄対象ウエハ　：　シリコン、石英、酸化物、化合物等 ■対応ウエハ口径　 ：φ2”～φ4”　厚みについては応相...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）

高圧断続スプレー「DP-Gun」

各種マスクやガラス、ウェハー研磨後の洗浄に！1秒間に30回のノズル開閉…

P－Gunは間欠スプレーのため、同じ圧力（＝衝撃）でも少ない流量となり、水膜ができにくく、スプレーした水が対象物へダイレクトに衝撃を加えます。 断続スプレーが繰り返し衝撃を加えることで、被洗浄物の異物除去、マスク洗浄、カセット等の立体物（細い溝や入り組んだ形状）の洗浄などで、優れた洗浄効果を発揮します。 ポンプユニットはノズルの開閉による流量変化に合わせたフィードバック制御を行うことで、圧力調...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ゼビオス（XEVIOS CORP.,）