第三の光加熱源！LEDアニール装置

PR加熱効率向上で省エネルギー化！高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が...

メーカー・取り扱い企業： ウシオ電機株式会社

極性溶媒の濃縮再利用に『BC膜濃縮システム』

PR極性溶媒の水溶液を膜処理で再利用へ。非加熱で省エネルギーな膜による濃縮…

BC膜(*1)濃縮システムは、水溶液を高濃縮できる非加熱で省エネルギーな膜濃縮システムです。 極性溶媒（NMP、DMF、DMSO、DMACなど）の希薄な水溶液を濃度30～40％程度の濃度まで濃縮できます。 BC膜濃縮システムで蒸留器による溶剤濃縮の一部もしくは全部を置き替えることができれば、燃料の大幅な削減が見込まれカーボンニュートラルの一助となります。 これまで廃棄されていた希薄な溶剤の水...

メーカー・取り扱い企業： 東洋紡エムシー株式会社／東洋紡エンジニアリング株式会社

【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置

驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタ…

ン量が一般的な装置に比べて10倍多くなり、 緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成できるようになりました。 また、コーティング面の仕上げ研磨が不要になったことで、耐久性も向上し、 省エネルギーに貢献しています。 【特長】 ■マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加 ■基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多い ■緻密で硬い、平滑な反...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店