【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置神港精機

驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタリング装置』

当社で取り扱う、『アーク放電型マグネトロンスパッタ装置』をご紹介します。

マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加
したことで、基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多くなり、
緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成できるようになりました。

また、コーティング面の仕上げ研磨が不要になったことで、耐久性も向上し、
省エネルギーに貢献しています。

【特長】
■マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加
■基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多い
■緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成
■コーティング面の仕上げ研磨が不要
■耐久性も向上し、省エネルギーに貢献

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基本情報【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置

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取扱企業【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置

神港精機株式会社東京支店

●装置事業部（成膜装置）・スパッタリング装置・真空蒸着装置・硬質膜形成装置・プラズマCVD装置（プラズマ装置）・エッチング装置・アッシング装置・クリーニング装置（熱処理装置）・真空リフロー装置・プラズマリフロー装置・真空熱処理装置・アニール装置 ●規格品事業部・ドライポンプ・油回転真空ポンプ・水封式真空ポンプ・メカニカルブースタ・真空排気装置・真空計、真空弁、真空部品・精密投影機・特殊光学機器