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PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…
関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所
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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
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冷却水注入作業時間が約60秒!
本製品が採用するツーステージバキューム方式は、 従来のLLC交換機では実現できなかったマイナス0.098MPaの真空状態、 つまり宇宙空間と同レベルの「真空度98%」の状態を作り出します。 そしてその高い真空状態により冷却水の水路内に残るエアーを 確実に抜き取り、新たに注入するLLCを水路の隅々まで充填...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ケミテック
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高圧式リングブロアー総合カタログ※HO HSING
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ガラススクライバー【MHS-500S】
MHS-300Sでは対応できなかった第二世代までのマザーガラス…
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株式会社京都電熱