【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

【高コスパ】キャパシタンスゲージ/コールドカソードピラニゲージ

PR各種真空システム搭載に好適な真空計

■『キャパシタンスゲージ』は、高精度で安定した絶対圧力を測定できる温度補正型の隔膜真空計です。 　　優れたゼロ点の安定性、低温度依存性、優れた対振動性が特長です。 ■『コールドカソードピラニゲージ』は、堅牢なコールドカソードゲージ(冷陰極電離真空計)とピラニゲージを組み合わせ、 　　大気圧から高真空まで広い圧力測定範囲を持つコンビネーションゲージです。 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社

【事例】『DSMC-Neutrals』真空排気シミュレーション

真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のよ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』

低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のよ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』でのダスト挙動の解析

「コンタミネーションに影響するダスト挙動」解析にも対応した 希薄流体…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【事例】『DSMC-Neutrals』シャワーヘッド型CVD解析

「シャワーヘッド型CVD」解析にも対応した 希薄流体解析ソフトウェア…

，品質の悪い計算格子が有っても，必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) などの半導体製...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

ギヤポンプやベーンポンプ、弁の解析『SimericsMP+』

解析出来ると言って実際は出来ないソフトや、出来るけどメッシュ作成などに…

です。 【以下の流体解析(CFD)が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れと弁やカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、ギヤポンプの歯型間などの数µm単位のクリアラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

オイルポンプに強い流体解析ソフトウェア Simerics MP+

歯車ポンプ・ベーンポンプ等容積型ポンプの流動特性をシミュレーション！ …

用できます。 【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 一番の強みは、他の汎用流体解析ソフトでは困難な、µm単位の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの油冷解析の案件が増えてお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの冷却解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの冷却解析の案件が増えてお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

イーアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

イーアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のイーアクスルの冷却解析の案件が増えてお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの油冷解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの油冷解析の案件が増えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの冷却解析にも『Simerics MP+』

eAxleの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの冷却解析の案件が増えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eアクスルの冷却解析にも『Simerics MP+』

eアクスルの冷却解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeアクスルの冷却解析の案件が増えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

E-Axleの油冷解析にも『Simerics MP+』

E-Axleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のE-Axleの油冷解析の案件が増えてお...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

eAxleの油冷解析にも『Simerics MP+』

eAxleの油冷解析には回転機能やVOF機能の強いSimericsで解…

【以下の流体解析が可能】 ■自由表面流れ ■液体に含まれる空気の圧縮性を考慮した流れ ■圧力脈動、水撃作用 ■ポンプの流れとバルブやカムリングの剛体運動との連成 ■低中真空状態の流れ ■圧縮性流れ（亜音速） ■キャビテーション ■流れ場（速度ベクトル、 圧力）、 流量、 流体力、 トルクの時間変化 最近では、自動車用のeAxleの油冷解析の案件が増えており...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社

【半導体向け】解析シミュレーションソフト　※カタログ進呈

工数・コスト削減に！薄膜生成、スパッタリング、プラズマエッチングなどの…

【その他の特長】 ■粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで、 　真空チャンバーを用いる実験や装置開発に有用 ■CVDのような化学反応を含む成膜のシミュレーションが可能 ■非構造メッシュを採用しているため、実際の装置の形状そのままを 　計算することが可能 ■高...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェーブフロント 本社