• 小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】 製品画像

    小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】

    PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定…

    『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化:W500×D39...

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    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

  • 【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム 製品画像

    【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

    PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

    関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大阪真空機器製作所

  • 【ニーズに合わせた開発】真空張り合わせ装置・ACF圧着装置 製品画像

    【ニーズに合わせた開発】真空張り合わせ装置・ACF圧着装置

    半導体装置メーカーならではの、技術&知恵を駆使して、高い品質・生産性を…

    大宮工業は、お客様の開発されたデバイスをモジュール化する等、製品開発 のご支援をさせて頂きます。 自社オリジナルの真空張り合わせ装置やACF圧着装置があり、カスタマイズ 対応もでき、開発のみならず、量産プロセスまでワンストップでの対応も可能。 半導体装置メーカーならではの、技術&知恵を駆使して、高い品質・生...

    メーカー・取り扱い企業: 大宮工業株式会社 営業本部営業課

  • 【アライメント方式を採用】量産が難しいものも一括対応 製品画像

    【アライメント方式を採用】量産が難しいものも一括対応

    品質要求レベルが高い生産品など!お客様のご要望や仕様に応じた量産業務を…

    当社では、"品質要求レベルが高い生産品""多品種少ロット生産""新技術が 必要な高精度な生産"など、海外での量産が難しいものを開発から量産まで 一括して対応しております。 ACF装置や真空貼り合わせ装置等自社装置を保有しており、お客様の ご要望や仕様に応じた量産業務を承ります。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■海外での量産が難しいものを開発か...

    メーカー・取り扱い企業: 大宮工業株式会社 営業本部営業課

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