【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム

PRドライ真空ポンプは排気流路に油を用いず、オイルフリーでクリーンな排気を…

関西光量子科学研究所(木津)に、「X線計測実験真空容器用高真空排気 システム」を納入した事例をご紹介いたします。 本排気ユニットは、真空容器に直接取り付けられる300L/sクラスの磁気軸受形 ターボ分子ポンプTG390Mと、ピラニ型と冷陰極電離真空計の複合型真空計、 そしてそれらのコントローラと補助ポンプ等を載せたカートから成ります。 真空容器に取り付けるターボ分子ポンプは磁気軸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

マシナブルセラミックス『シェイパルHI M-soft』

高い熱伝導率と強度を誇り加工性に優れたマシナブルセラミックス！

製品は、そのマシナブルセラミックスの 中では比較的難加工材の部類に入ります。 板材からの機械加工のみでの提供となる為、加工不可の形状もあります。 【特長】 ■加工性に優れている ■真空特性に優れている ■高い熱伝導性（90W/m・K） ■高い強度 ■低い熱膨張率 ■電気絶縁性に優れている ■低い誘電率・誘電損失 ■AINとBNの複合体 【用途例】 ■真空部品 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

海外製高純度アルミナセラミックス　CAシリーズご紹介

国内製同等グレード且つ圧倒的なコストパフォーマンス。高純度アルミナセラ…

様にCIP成型による高純度緻密質アルミナセラミックスとして製作可能、純度の厳しい半導体・液晶製造装置への使用も可能となっております。 CA-99はエレクトロニクス関連に豊富な実績を誇り、純水洗浄や真空梱包にも対応しております。 そのセラミックス、オーバースペックでないですか？ 品質を維持しながらコストダウンを検討出来る、CAシリーズを是非ご検討下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

マシナブルセラミックス『ホトベール』

全てにおいて高い特性を有する快削性マシナブルセラミックスの代表格！

で加⼯スピードが速く納期メリットがある ■低価格 ■熱伝導率が低く、断熱特性がある ■電気絶縁性に優れている ■断熱性に優れる 【用途例】 ■半導体製造装置絶縁材 ■断熱部品 ■真空装置部品 ■熱処理治具 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

ファインセラミックス『アルミナセラミックス（AL203）』

機械強度、絶縁性、耐熱、耐腐食などバランスよく優れた材料！セラミックス…

スの中では安価に提供可能 ■セラミックスの特長である高強度、絶縁、耐熱、耐摩耗、耐食性等 　すべてにおいてバランス良い特性 ■電気絶縁性、耐熱性（1500℃） 【用途例】 ■精密部品（真空チャック、絶縁リング・ガイド　など） ■定盤（XYテーブル、エアスライダー　など） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課

海外製高純度溶融石英　PQ8シリーズご紹介

国内製同等グレード且つ圧倒的なコストパフォーマンス。高純度溶融石英PQ…

・マシニング多数 ・内外研磨機 ・ウォータージェット ・レーザー加工機 ・火加工対応 ・HF洗浄 ・真空部品でのリークチェック 検査についても3次元測定器で対応致します。 ・半導体製造装置 ・ファイバー ・太陽光 ・LED ・洗浄槽 各種豊富な実績です。 ...

メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部　機能材料課