大気圧確認用真空スイッチ　PS９１

オイルレス　長寿命　真空スイッチ

PS91は、半導体、液晶製造装置の真空プロセスで使用される大気圧確認用の電子式真空スイッチです。 可動部のない電子式スイッチなので、より長寿命が図れます。 また、継手にはボルト・ナットが不要で脱着の容易な国際規格（ISO）のクイック-リリース　カップリング （Quick-release Coupling）を採用しております。 オイルを使用していないため既存品より長寿命を実現しています。 ...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)

大気圧確認用真空スイッチ PS91

半導体型薄膜素子採用で高真空連続使用に対応が可能

日本電産コパル電子の【PS91シリーズ】は、半導体型薄膜素子（SUS316L）を採用、高真空連続使用に対応可能な大気圧確認用真空スイッチ。継手はISO規格のクイックリリースカップリングとガスケット継手を採用、スイッチ出力は2点を背面にトリマで任意に設定できる...【PS91シリーズ】は、半導体や液晶／有機EL製造装置で使用される真空チャンバなどに適している。 指示方式：ゲージ圧 定格圧力範囲：...

メーカー・取り扱い企業： ニデックコンポーネンツ株式会社 (旧社名: 日本電産コパル電子株式会社)