FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

非接触光学面粗さ測定機 nanoCam

測定物の大きさや環境・場所を選ばない振動に強い３次元粗さ測定器！

axなどの設計データを読み込んで計測データのリアルタイム評価をすることで、研磨加工に対するフィードバックをかけることも可能。超小型で可搬性がありリモートコントロールが可能なため、クリーンルームや真空チャンバ内なども含めた加工現場へも導入できる。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイ・アール・システム