FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

カーボンナノチューブ合成装置

優れた膜厚分布および再現性を実現！基板プラズマクリーニングシステム搭載

『カーボンナノチューブ合成装置』は、優れた基板温度分布および ガスフロー方式を実現します。 全自動でCNT合成が可能。 基板プラズマクリーニングシステム搭載しています。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作できますので、 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■全自動でCNT合成が可能 ■基板プラズマクリーニングシステム搭載 ■優れた基板温度分...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

セミオートボンディングマシン KBM-150

ボンディングの工程を１台で行い、安定したボンディングが可能！

【特徴】 ○固形ワックスを使用し、ランニングコストを抑制 ○シンプルで正確なボンディングが可能 ○真空チャンバ内で本押し工程を行い、ウェハ内にエアーが残ることを軽減 ○冷却はチラーユニットが標準装備 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 秀和工業株式会社