FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

熱真空試験用チャンバ

低価格、高性能な宇宙機器の熱真空試験に使用できる熱真空試験用チャンバ

人工衛星等の宇宙機器の熱真空試験に利用することができる低価格、高性能な熱真空試験用チャンバの開発・販売を実施しております。数多くの開発実績を有する小型チャンバから大型の人工衛星を試験することができる直径13ｍまでの各種チャンバを取り揃えております。また、温度環境及び温度制御装置も合わせてご提供することができます。...大学で利用できる小型の熱真空試験用チャンバから人工衛星のシステム及びその機器の開...

メーカー・取り扱い企業： 合同会社先端技術研究所 本社