ロータリーポンプコントロールシステム

ポンプで節電、高真空装置の設置場所を静かで快適な環境に

"ロータリーポンプをコントロールすることにより、消費電力・振動・ 発熱量・音響ノイズを低減させる製品です。 多くの高真空装置では、高真空ポンプの粗引きとしてロータリー ポンプが終夜運転されております。しかし、装置内が高真空に 到達した後では、アウトガスは極少量になります。 このシステムでは、ロータリーポンプと高真空ポンプの間に バッファーチャンバーを入れ、その真空度をモニターすることに...

メーカー・取り扱い企業： 丸菱実業株式会社