小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。 ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。 主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。 特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空ポンプの修理・オーバーホール

真空ポンプの修理は弊社にお任せ! 修理サービスに加えて、状況説明や代…

(株)ソナスリンクでは真空ポンプの修理・オーバーホールに関するご依頼にも対応しております。 ロータリーポンプ・ドライポンプ・ターボ分子ポンプ・油拡散ポンプなど、各種ポンプの修理またはオーバーホールに対して多くの整備実績がございます。 実施の際は丁寧なヒアリングを心掛け、お客様にとってどのようなご提案や整備方針が最適なのか理由をお伝えし、ご了承をいただいた上で整備を進めております。 お...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソナスリンク

真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！ 真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号の使い方」など、 現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！ 【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

コーティングプロセス向け真空ソリューション

エドワーズは、真空蒸着、スパッタリング、CVD、プラズマ重合等、多くの…

当カタログは、コーティングプロセスに関連する真空ソリューションをご紹介しています。 コーティングプロセスでは、様々な用途向けに金属、無機化合物、有機化合物を堆積させ、薄膜を形成するプロセスです。 真空ポンプは、プロセス中の不純物の混入防止、成膜速度の向上、プラズマ発生用途として使われています。 エドワーズは、これまでの設置実績に基づくアプリケーションのノウハウとプロセスへの豊富な知識によ...

メーカー・取り扱い企業： エドワーズ株式会社

メカニカルブースタポンプ PRC-A/PMB-C(M)シリーズ

水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。【アルバック…

ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

クライオポンプ　CRYO-U30H

高品質な真空をお届けします。

多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U20P

高品質な真空をお届けします。

多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置等の生産装置に最適。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U22H

高品質な真空をお届けします。

多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種などアルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○大型成膜装置に最適。 ○水に対する排気速度は最大。 ○メンテナンスインターバル　16000時間 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社

クライオポンプ　CRYO-U16

高品質な真空をお届けします。

多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質、迅速で的確、万全のサービス体制、バラエティに富んだ豊富な機種など アルバック・クライオのCRYO-Uシリーズは生産ラインに安心してご使用いただけます。...【特徴】 ○中、大型生産装置に最適です。 ○バッチ式大型成膜装置に最適。 ○熱負荷に強いタイプ。 ●詳しくはお問い合せ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： アルバック・クライオ株式会社