小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

MBE関連製品　MBE装置

基板サイズ1”～6”、Ⅲ－Ⅴ族、Ⅱ－Ⅵ族対応等お客様の使用環境・使用目…

分子線セル、RHEED、BFM、基板加熱機構等の主要部品からチャンバー、シュラウド、プロセスコントローラ、シャッターコントローラ等の制御ユニットまで、一貫して自社にて製造致します。...【特徴】 ○ARIOSの超高真空技術を駆使しており、クリーンな真空での成膜が可能です。 ○分子線セル、基板回転加熱機構等主要部品は、加熱脱ガス処理を行っています。 ○RHEED、BFM、ラジカル源等豊富なオプ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社