真空成膜 | イプロスものづくり

PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

ロールツーロール式真空成膜装置

試験研究に好適な小型ロールツーロール成膜装置！

『ロールツーロール式真空成膜装置』は、ロールツーロールにてフィルム基板上に連続的に薄膜形成が可能な装置です。コンパクトでエコノミーな装置なので、研究開発に好適。フィルム搬送系に工夫をすることで、高速成膜が可能...

メーカー・取り扱い企業：ユースエンジニアリング株式会社

金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【対象製品】 ◆自動車ヘッドランプリフレクター ◆ミラー ◆金属装飾膜 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【コンパクト×高拡張性】モジュール式真空成膜装置の優位性

シンプルな操作性！短時間かつ低コストで全く異なる目的の真空システムに再…

当社が取り扱う『モジュール式真空成膜装置』についてご紹介します。一般的な真空装置の場合、KFポートやCFポートが溶接されていて、システム導入後はポート配置は固定され、チャンバー構成を変更することはできません。 ...

メーカー・取り扱い企業：テガサイエンス株式会社

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

創意工夫を大切にし、時流に流されない研究開発を続けるナノテックが取り扱う『各種真空成膜装置』をご紹介します。当社では、ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います。 HIPIMS法による成膜を行う「ICF成膜装置」をはじめ、半導体プラズマ洗...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置などの分析機を備えた評価室から構成されます。また、中央の試...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能なため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプションでL/Lチャンバ、移動式膜厚計、バイアス機構に対応しています。【特長】 ■フラットヒータ加熱によ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

キヤノンアネルバ株式会社　会社案内

社会の発展に貢献！超真空技術を用いた高付加価値製品を提供

年にキヤノングループ会社となり、今日ではキヤノン産業機器グループの一員として、グローバルなグループネットワークの強みを最大限に活かした事業展開を目指しております。【事業内容】 ■真空成膜加工装置製造・販売 ■真空コンポーネント製品製造・販売 ■保守サービス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能です。【特徴】 ○全自動 ○サイクルタイム： 80sec（Al：100nm＋SiOx：20nm） ○高い密着度 →アンダーコート無しでも高密...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

ーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しております。ご用命の際はお気軽にご相談ください。【特長】＜真空...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

プラズマ装置(表面改質・エッチング・成膜)のレンタル・受託処理

今なら無償デモ中！各種プラズマ装置のレンタルや受託処理を承ります(7日…

表面改質(洗浄・表面改質・親水化・接着強化)やエッチング・製膜に優れた各種プラズマ装置のレンタル・受託処理・研究・開発など様々なニーズにお応えしております。プラズマ表面処理は、素材の表面に独自の個性をもたせ、製品の高機能化、高付加価値化を図る次世代表面処理技術として、現在、幅広い分野(エレクトロ二クス～医療・バイオなど)の応用技術として注目されています。魁半導体では創業以来の知見を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

成膜関連製品　TELEMARK 真空蒸着用コンポーネント

蒸着用電子銃など真空蒸着のことならお任せください。

VISTA株式会社は、TELEMARK製の電子銃や水晶膜厚モニターなど多彩なラインアップで取り揃えております。 TELEMARK社の電子銃は、超高真空対応型、高真空汎用型、シングルポケット、回転型、直線型、ルツボ容積4ccから1500ccまで、最大ビームパワー3kWから15kWまでと、豊富で幅広い製品群を用意しております。また、蒸着装置の水分を効果的に取り除くことは、真空蒸着にとって必須の課...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

真空装置の開発・製造・販売を手がける当社の、技術とノウハウが詰まった「総合カタログ」と「真空に関する技術資料」をプレゼント中！総合カタログには、長期間の安定運転が可能な「ドライ真空ポンプ」、省スペース・省電力を両立した「真空計」などを多数掲載。技術資料は「IGZO膜の成膜手法」「マスクを用いたイオン注入技術」などをデータ資料を交えて徹底解説！“真空”に携わる技術者必見の...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

原子層堆積装置「ALD-Series」

複雑な形状の基板への成膜に最適で、低温成膜で樹脂基板にも対応します。ま…

ALD（Atomic Layer Deposition）とは原子層堆積法という単原子層を1サイクルで成膜する手法で、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成します。一原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。【特徴】 ○複雑な形状の基板への成膜に最適 ○低温成膜で樹脂基板にも対応 ○ガスバリア性に優れた薄膜が得られる...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）

熱ＣＶＤ装置の排気に実績多数。Ｃｌ系ガスの排気に特に有効、大量排気と塩…

ケミカルプロセスに多大な実績を持つ真空ポンプ（水封式真空ポンプとメカニカルブースタ）をユニット化。ＣＶＤ装置のプロセス特性・ガス種・排気量に合わせてポンプ材質と周辺機器を最適化。主排気ポンプの水封式真空ポンプを封液循環式とし、循環式封液にアルカリ性溶液を使用し、塩素系ガスの排気と中和を両立。後段のガス処理装置の負荷を大きく削減。特に表面処理用の熱ＣＶＤ装置の塩素系ガスの排気系に有効で工...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

実験用小型スパッタリング装置

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。～特徴～・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。・スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブ　で仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。・ターゲットは３種まで取付可能です。・基板は自動回転機構で、設定した順にタ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置　総合カタログ2019

マグネトロンスパッタや親水処理装置などを掲載しております

当カタログは、株式会社ユニオンが取り扱う、株式会社真空デバイス製の電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置を掲載した製品総合カタログです。電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す『マグネトロンスパッタ』をはじめ、 2チャンバー、3種処理機能を搭載した電子顕微鏡向け複合前処理装置『VES-10形マルチ成膜装置』や、低ダメージでオスミウムをコーティングできる『オスミウムコーター』などを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭載型油回転真空ポンプなどを掲載しています。今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製作も行っております。また、各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様検討の段階よりお手伝いさせていただきます。...【製品】蒸着膜形成装置 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

ガス配管製作

自動溶接作業は、クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空装置のプロが書く『真空基礎知識』技術資料進呈中！※展示会出展

用語集、単位換算表、記号の意味、計算事例など、現場で使える知識を１冊に…

真空の総合メーカーとして、60年以上にわたり培った当社のノウハウを、 1冊に凝縮した技術資料『真空基礎知識』を、ただいま無料進呈中です！真空関連装置に関わる方であれば必須の「用語集」や「記号の使い方」など、現場でスグに活用できる知識解説や資料が満載です！【資料の概要】 ■単位換算表 ■真空用語 ■真空関係シンボルマーク ■気体の性質 ■コンダクタンスと排気時間の計算...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。 PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。巻き上げはフィードバック制御です。ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。カソード用マグネットからターゲットの手配まで全てお任せください。【特長】 ○セッティング性に優れている ○サーボによる細か...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

シエンタオミクロン　複合型分析装置

様々なタイプの複合型分析装置をご用意しております

角度分解分析用超高真空排気装置、HREELS用超高真空排気装置、MBE用超高真空排気装置、複合型分析用超高真空排気装置、UHV NANOPROBEなど、様々なタイプの複合型分析装置をラインナップ。また、大型複合装置として、成膜系から分析計まで超高真空環境で搬送でき、試料の作製・評価・分析までを一貫したコンセプトで設計、円滑で効率的な実験環境を提供いたします。さらに、SPM装置との接続にも最...

メーカー・取り扱い企業：シエンタオミクロン株式会社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層成膜が可能です。【特長】 ■自動スパッタ機能により、長時間のスパッタリング作業も省力で可能 ■GenCor...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」

低パーティクル仕様の超高性能光学薄膜用蒸着装置です。

超高性能光学薄膜用蒸着装置「Sapio 1300/1550」は、新開発のファイバー式光学モニターの採用や、安定した温度制御が可能な80点モニターガラス機構を搭載することで設計通りの特性が得られる高精度を実現しました。徹底した放出ガス対策により、槽内が汚れていても特性のみならず、安定した膜質が得られます。【特徴】 ○高効率排気システム ○低パーティクル仕様（オプション） ○高精度...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

【詳しく解説！】真空蒸着法による薄膜の基礎知識資料

60年以上真空蒸着による薄膜製品を手掛けてきた当社から【真空蒸着法によ…

当社ではこれまで60年以上の長きに渡って真空蒸着法による光学薄膜の成膜を行ってきました。当資料では、そのノウハウと経験をもとに【真空蒸着法による薄膜の基礎知識】について概要から導入メリットなどについて詳しく解説しています。この1冊で真空蒸着法による薄膜の基礎を学ぶことが出来ます。薄膜・光学でお困りの方や、真空蒸着法についてしっかりと知識をつけたい方はぜひご確認ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：京浜光膜工業株式会社

サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。英国オックスフォードアルライドリ…

ビームを中性化することで、これまで電荷粒子が問題になっていた誘電体や半導体への照射やエッチングプロセスにも最適です。 ≪用途≫ ■成膜前の基盤クリーニング ■常温接合前のサンプルクリーニング、表面の活性化 ■半導体基板等のエッチング ■微細加工 ■リアクティブアトムビームエッチング ≪特長≫ ■電荷を持ったイオンによる衝撃と異なり、絶縁物や半導体試料にもチャージダメー...

メーカー・取り扱い企業：三和真空株式会社

製品カタログ　真空装置

FCCLや透明導電膜、脱ガスなどをラインアップ

当カタログは、株式会社ヒラノK&Eが取り扱う真空装置を掲載した製品カタログです。マルチチャンバー方式を採用することにより生産量に応じたレイアウトが可能な「FCCL」をはじめ、1000mm以上の広幅の成膜が可能な「透明導電膜」、アモルファスシリコン系太陽電池の製造装置として納入実績のある「各種電池」などをご紹介しております。【掲載内容】 ■FCCL ■透明導電膜 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒラノK&E

500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）

R＆D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜し…

研究開発向けのロールコーター（ウェブコーター）です。 PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。ターゲットの交換も簡単にできる設計です。詳細はお気軽にお問合せ下さい。...【到達圧力】　　・10－5Ｐ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源、ロボット等の修理代替え品等を用意し、信頼のあるパーツと技術サービスのご提供を通してお客様...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

株式会社アールデック　会社案内

理化学機器全般の開発・製造・販売のことなら株式会社アールデックにお任せ…

株式会社アールデックは、つくばの地にて1988年創立、私たちは得意とする超高真空技術を駆使し、物理・化学分析分野にてその応用の幅を広げ、詳細な設計を基軸に、世界オンリーワンを目指す開発型企業として独創性を高めて参りました。「研究開発機器と機材を～思考する技術の中に」1つ1つ求められる課題に取り組み、その技術を研究機関という限られたフィールドを超えて、一般消費者の方にも展...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アールデック

製品案内　装置

表面分析用チャンバーや蒸着用チャンバーのご紹介

北野精機株式会社では、表面分析用チャンバー（極・超高真空）もしくは蒸着用チャンバー（超・高真空）を製作しております。材質は、ステンレス鋼もしくはアルミが標準となるほか、非磁性等の材料も選定可能。フランジには、ICF規格・ISO規格・JIS規格を基本的に使用しております。また、特型の指定フランジも接続可能な設計製作を承ります。使用真空度に合わせて、表面処理はGBB処理・バ...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

株式会社富士アールアンドディー　会社案内

真空装置・容器・部品の製作、ラップ・ポリッシュ盤の改造やオーバーホール…

【掲載内容】 ○代表挨拶 ○製品紹介 →真空装置 →真空部品 →改造・オーバーホール →その他 ○業務内容 ○社内設備 ○会社概要 ○所在地 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...弊社は1972年に「富士鉄工所」として創業し、当初は金属の加工を中心に活動して参りました。 1999年には名称を「富士アールアンドディー」に改め、日々刻々...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

三弘エマテック株式会社　事業紹介

機器、材料、分析装置の幅広い総合力で製造プロセスを強力にサポートします…

三弘エマテック株式会社は、産業の基盤として多様な応用分野で、研究開発や製造プロセスを強力にサポートする真空をキーワードとした商品を中心に幅広くご提供しております。民間企業様から大学・官公庁のお客様まで用途に限らない全方位型の商品提供戦略を取っており、各仕入れ先メーカーとの幅広いコミュニケーションを活用し、積極的に新規商材の開拓を行っております。【取扱製品】 ■真空...

メーカー・取り扱い企業：三弘エマテック株式会社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No78

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.78です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.78」は、真空に関する最新技術資料です。次世代半導体用ナノカーボン材料の開発動向をはじめ、大容量PCRAM 向け量産装置とプロセスの開発や、アルバックにおけるSiC パワーデバイスの量産技術開発進捗などを掲載しています。今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。【掲載内容】 ■次世代半導体用ナノカーボン材料...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

Free Chamber Order System

多彩なバリエーションでお応えする真空チャンバ設計システム

『Free Chamber Order System』は、当社が蓄積した、数々のノウハウを柔軟に組み合わせる事を前提として企画された真空チャンバ設計システムです。数々のテクニカルソースを組み合わせる事で、より安価且つ短納期でのご提供を可能にします。【装置（一部抜粋）】 ■排気系　・ロータリポンプ　・ターボ分子ポンプ ■成膜源　・スパッタリングカソード ...

メーカー・取り扱い企業：いちよしエンジ株式会社

カスタムメイド装置／改造／メンテナンス／DLCコーティング

お客様のアイデアを具体化して、オリジナルの装置や改造などをご提案いたし…

アイゲート株式会社では、真空装置の『カスタムメイド装置／改造／メンテナンス／DLCコーティング』を承っております。設計、製造、納入までを一貫して行い、納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応。また、当社製以外の装置に関する改造、メンテナンス、移設などにも幅広く対応しております。【特長】 ■設計、製造、納入までを一貫して実施 ■納入後のプロセスサポ...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

【MBraun社】真空薄膜形成　蒸着ソース

実験用の少量蒸着ソースから生産用の大型リニアソース並びに実験用の蒸着装…

MBraun社は独ドレスデンに拠点を置く、有機材料用プロセスの専門メーカーです。有機エレクトロニクス材料を成膜するためには組成分解のない真空蒸着が好適です。 MBraun社はその有機材料に関するノウハウを元に実験用の少量蒸着ソースから生産用の大型リニアソース並びに実験用の蒸着装置をご提供いたします。【概要】 ■有機材料用蒸着源（ポイント及びリニア型） ■メタル材料用蒸着源 ■有機...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

真空配管、粗引配管設計及び制作

真空配管にて重要な欠陥であるフランジ部のキズなど、出荷前の外観検査にて除去し、リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでの...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

ジャパンクリエイト株式会社が行なった、『各種真空装置』のオーダーメイド製作実績をご紹介します。「研究開発用アニール装置」をはじめ、「バッチ式プラズマ処理装置」や「極低温成膜実験装置」「排ガス切替装置」などの実績を保有。デモ機にてサンプル処理を実施しております。ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【製作実績（抜粋）】 ■研究開発用アニール装置 ■バッチ式...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

スパッタソース「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」

マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能

本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。【特徴】 ○Oリングを使用しない超高真空タイプ ○スパッタソースを超高真空に保持したまま、マグネットの取り外しが可能 ○マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能 ○ターゲットの固定はリテイナー...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No76

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.76です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.76」は、真空に関する最新技術資料です。 InGaZnO TFT 関連成膜技術のOLED パネルへの適用をはじめ、真空計｢G-TRAN シリーズ｣マルチイオンゲージ「SH2」の開発や、大型振り子バルブ「VFR シリーズ」の開発、自動高速分光エリプソメータ｢UNECS-3000A｣の開発などを掲載しています。今なら最新...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No77

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.77です。【アルバッ…

「ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.77」は、真空に関する最新技術資料です。プリント基板製造用スパッタリング装置「SMV-500F」をはじめ、 Si デバイスのはんだ実装における Au(Ag)レスプロセスの開発や、 ReRAM 素子用スパッタリング量産技術開発の現状などを掲載しています。今なら最新技術資料を無料でプレゼント中です。【掲載内容】 ■プ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.