株式会社ハイブリッジ 2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』
- 最終更新日：2023-07-13 10:30:03.0
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フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応したスパッタリング装置！
『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能な
ため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空
及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式
スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプション
でL/Lチャンバ、移動式膜厚計、バイアス機構に対応しています。
【特長】
■フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能
■真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応
■2インチマグネトロン式スパッタカソードを具備 ※最大3元まで増設可能
■オプションでL/Lチャンバ、移動式膜厚計、バイアス機構に対応
■設置スペースはW535×D1000×H1800mmと省スペース
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基本情報2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
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カタログ2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』
取扱企業2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』
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■真空機器・装置の設計・製作・販売及びコーディネイト ■理化学機器・装置の設計・製作・販売及びコーディネイト ■光学機器の設計・製作・販売及びコーディネイト ■除振・防振機器の設計・製作・販売及びコーディネイト ■機械加工部品・特殊材料加工の設計・製作 ■真空コンポーネントの販売 ■各種真空・理化学機器の移設作業及びメンテナンス
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