FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大気圧プラズマ装置

2種類の照射方式の採用により、様々なプロセスに対応可能！各種テスト機も…

『大気圧プラズマ装置』は、真空容器や反応用ガスを充満させる等の特殊な 環境を必要としない、常圧大気中で発生させることができる装置です。 「ダイレクト方式」と「ジェット方式」の2種類の照射方式を採用しており、 様々なプロセスに対応可能。 大気圧プラズマを利用すると、通常では起こりえない様々な現象が起こります。 主な用途としては、通常の洗浄では除去が難しい素材表面の微細な有機物等を...

メーカー・取り扱い企業： 日邦産業株式会社

卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！ タイマー機能付！

『PCシリーズ』は、プラズマ放電にさらすことで、従来の洗浄方法では 難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。 金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。 また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の 前処理などあらゆる試料のプラズマ処理に対応します。 低価格でコンパクト設計なので、実験・研究・開発に適しており...

メーカー・取り扱い企業： ストレックス株式会社