FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

ドライポンプ（ドライ真空ポンプ）　SST/SSXシリーズ

PR独自設計のスクリューロータによりハードプロセスをこなす、万能ドライポン…

◆独自設計のスクリューロータにより、従来ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス・粉体・生成物・液体などの吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転を実現します。 ●ZEROEDGEスクリュー 排出効率に優れ、堅牢性を重視した構造設計により、ハードプロセスにおいても安定した運転を可能にします。 ●メンテナンス性の追求【省コスト】 設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業ができ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

連続式回転ろ過機『三菱ブローバックフィルタ(BBF)』

真空ろ過・加圧ろ過対応連続式回転ろ過機 ラボテストから実機納入までワ…

『三菱ブローバックフィルタ（BBF）』は、連続的に、ろ過・脱液・ケーキ洗浄・ケーキ剥離・ろ布洗浄を行う、連続式回転ろ過機です。 真空ろ過・加圧ろ過のどちらにも対応ができるため、ご要望に合わせたろ過条件を選択できます。 【特長】 ■幅広い粒子径の加圧ろ過、真空ろ過のどちらにも利用することができます。 ■密閉化や防爆対応が容易なため、溶剤を含む処理物や高温高圧下でのろ過・分離・ケーキ洗浄・...

メーカー・取り扱い企業： 三菱化工機株式会社　産業機械

多機能型ろ過乾燥機　『三菱ヌッチェフィルター(NF)』

小型機から大型機まで多様なニーズに対応！　　　　　　　　　　　　　　　…

『三菱ヌッチェフィルター（NF）』は、多機能の特殊回転羽根を備えた水平ろ板型ろ過機で、ろ過から高度なケーキ洗浄、脱液及び乾燥までを一つの容器内で一貫して効率よく行うことが出来る装置です。 ファインケミカルなど系外からの異物の混入防止による品質向上と設備の合理化が求められる分野で能力を発揮します。 【特長】 ■圧力容器構造規格対応、また、様々な顧客仕様にカスタマイズ可能 ■密閉容器内部の...

メーカー・取り扱い企業： 三菱化工機株式会社　産業機械