FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

【納入事例】瞬間接着剤原料の減圧蒸留用排気システム

瞬間接着剤原料を製造する化学プラントの減圧蒸留工程で、反応缶を真空に引…

今回は製造能力をアップした設備の新設に際して、大型化した反応缶を 真空に引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着してポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大阪真空機器製作所