FOUP洗浄装置

PR特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です

【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能（常温→65℃まで3秒）　 ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（15...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

組込型ローラーチューブポンプ

パネルマウントタイプローラーチューブポンプ

・弊社独自の機構をにより最小限摩擦でチューブの長寿命化・長期安定送液を可能にしました。 ・従来耐久性に乏しいかったテフロンチューブの長期安定使用を可能に　し、瞬間接着剤や有機溶剤など液体に対応出来ます。 ・ローターを含め全高精度金属構造です。磨耗・熱に強く小型で堅牢で　す。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ミナトコンセプト